Silizium in Form eines Einkristalls wird als monokristallines Silizium bezeichnet. Die Bausteine (Atome, Moleküle oder Ionen) eines Einkristalls weisen eine regelmäßige Anordnung und somit eine einheitliche Kristallstruktur auf. Monokristallines Silizium wird durch Aufschmelzung von polykristallinem Silizium hergestellt. Dies erfolgt z.B. im Czochralski-Verfahren (Tiegelziehverfahren) oder dem Zonenschmelzverfahren.